層流潔凈工作臺(tái)檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)JG/T 19-1999? ? ? 標(biāo)準(zhǔn)編號(hào)：JG/T 19-1999 標(biāo)準(zhǔn)? ? ? ? 狀態(tài)：已廢止
本標(biāo)準(zhǔn)主要適用于層流潔凈工作臺(tái)。其他局部?jī)艋O(shè)備可參照本標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行檢驗(yàn)。
術(shù)語(yǔ)
1.1 局部?jī)艋O(shè)備
是使在特定的局部空間的空氣含塵濃度達(dá)到每升空氣中≥0.5μm的粒子數(shù)≤3.5 粒的空氣潔凈度等級(jí)的設(shè)備稱局部?jī)艋O(shè)備。它是由高效空氣過(guò)濾器等組成的凈化機(jī)組，如潔凈工作臺(tái)、潔凈干燥箱、潔凈層流罩潔凈自凈器等。
1.2 氣溶膠
是由懸浮在氣體中的固體或液體微粒所組成的懸浮體系。
2 技術(shù)要求
2.1 檢漏
潔凈工作臺(tái)安裝后必須經(jīng)受氣溶膠的泄漏檢驗(yàn)和誘人檢驗(yàn)。按照3.1.1.2進(jìn)行試驗(yàn)時(shí)，縫隙下游側(cè)濃度超過(guò)上游側(cè)濃度的0.01%，則視為有明顯泄漏。
2.2 操作區(qū)潔凈度
按照3.2進(jìn)行測(cè)試，其潔凈度≥0.5μm粒子必須≤3.5粒/L，不準(zhǔn)許有≥5μm粒子。
2.3 風(fēng)速
按 照 3. 3 進(jìn)行測(cè)試時(shí)，操作區(qū)平均風(fēng)速應(yīng)在0.3 -0.6 m /s范圍內(nèi)。如有特殊要求，由用戶與廠家另行商訂。每個(gè)測(cè)點(diǎn)應(yīng)在平均風(fēng)速的士20%范圍內(nèi)。
2.4 噪聲
按 3. 5 進(jìn)行測(cè)試，噪聲不得超過(guò)65dB(A聲級(jí))，如有特殊要求由用戶與廠家商訂。
2.5 振動(dòng)
按 3. 6進(jìn)行測(cè)試，操作臺(tái)三個(gè)軸向(x、y、z)振幅均不得超過(guò)5μm。如有特殊要求，用戶與廠家另行商訂。
2.6 照明
按 3. 7 進(jìn)行測(cè)試，操作臺(tái)面平均照度不得小于300lx。光線應(yīng)均勻、柔和，避免光。如有特殊要求由用戶與廠家另行商訂。
2.7 構(gòu)造
2.7.1潔凈工作臺(tái)板壁表面不得生銹和剝落。對(duì)操作臺(tái)面有耐酸耐腐蝕要求時(shí)，應(yīng)采用耐酸材料或不銹鋼材料。
2.7.2所配用的高效空氣過(guò)濾器應(yīng)是經(jīng)測(cè)試合格的。在一般空氣環(huán)境中使用不應(yīng)變質(zhì)和腐蝕。
2.7.3高效空氣過(guò)濾器的安裝密封墊，要注意選用不易老化的材料，以免引起泄漏，并應(yīng)易于維護(hù)和更換。
2.7.4各部件配合緊湊合理牢靠，各門板、護(hù)板、蓋板的邊緣及縫隙不均勻度應(yīng)符合機(jī)械裝配要求。
2.7.5 螺釘螺帽應(yīng)無(wú)銹蝕、滑絲現(xiàn)象，螺釘開(kāi)口槽應(yīng)無(wú)裂口傷痕。
2.7.6 機(jī)箱焊接應(yīng)符合一般焊接通用技術(shù)條件的要求，不得有燒穿、漏孔、裂縫等缺陷。
2.7.7當(dāng)潔凈工作合在產(chǎn)生易燃易爆物質(zhì)的房間中運(yùn)行時(shí)，風(fēng)機(jī)和電氣設(shè)備均應(yīng)為防爆性或設(shè)有防電火花措施。
2.7.8當(dāng)潔凈工作臺(tái)在酸、有機(jī)溶劑、生物粒子等情況下進(jìn)行操作時(shí)，其構(gòu)造必須是能把含有這些污物的空氣直接或經(jīng)處理后排出室外。
2.8 電氣系統(tǒng)
2.8.1門絕緣阻抗
按 3. 8 進(jìn)行絕緣測(cè)試，其絕緣電阻應(yīng)在2MΩ以上。
2.8.2 耐電壓
按 3. 9 進(jìn) 行耐電壓測(cè)試時(shí)不得有擊穿和閃絡(luò)現(xiàn)象。
2.8.3電器裝配要求
2.8-3.1 電氣系統(tǒng)的主要部件按現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)和機(jī)械工業(yè)部標(biāo)準(zhǔn)來(lái)配置。主要部件的安裝應(yīng)不遮擋或擾亂工作區(qū)內(nèi)的氣流并使?jié)崈艄ぷ髋_(tái)運(yùn)行安全可靠。
2.8-3.2 電動(dòng)機(jī)選擇應(yīng)符合GB 755-81((電機(jī)基本技術(shù)要求》。
2.8.3.3 照明宜選用熒光燈。熒光燈座和起輝器的選擇應(yīng)符合GB 1312-77((熒光燈座和起輝器座》標(biāo)準(zhǔn)。
2.8-3.4 開(kāi)關(guān)和指示燈應(yīng)設(shè)置在操作人員容易操作和觀察的地方。應(yīng)符合GB 4053.3-83《電工成套裝置中的指示燈和按鈕的顏色》標(biāo)準(zhǔn)。
2.8-3.5 選用導(dǎo)線應(yīng)符合有關(guān)規(guī)定
2.8.3.6 電氣系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)負(fù)荷大小裝保險(xiǎn)絲或熔斷器。電氣系統(tǒng)的主要部件及凈化設(shè)備的殼體應(yīng)可靠接地。
2.8-3.7 電氣系統(tǒng)的接線圖應(yīng)貼在潔凈工作臺(tái)上。
2.8.3.8 電氣元件、部件、接插件應(yīng)裝配牢靠，布線合理、整齊，焊點(diǎn)光滑，無(wú)虛焊，無(wú)錯(cuò)。
3、檢驗(yàn)方法
3.1 檢漏
檢漏包括泄漏測(cè)試和誘人測(cè)試。泄漏是指高效空氣過(guò)濾器上游側(cè)氣溶膠，未經(jīng)過(guò)濾，通過(guò)過(guò)濾器孔洞或安裝不嚴(yán)形成的縫隙漏至過(guò)濾器下游側(cè)的現(xiàn)象;誘人是指潔凈工作臺(tái)箱體外的氣溶膠，通過(guò)箱體縫隙或操作口而誘導(dǎo)進(jìn)人操作區(qū)的現(xiàn)象(見(jiàn)圖1,圖2)
3.1.1泄漏測(cè)試
3.1.1.1儀器
采用檢漏裝置或同類型儀表。其性能要求
a 多分散DOP氣溶膠(冷煙)發(fā)生器，其濃度通常達(dá)80-100μg/L;
b 光度計(jì)，其對(duì)DOP氣溶膠(冷煙)濃度的測(cè)量范圍為0.001～100μg/L。
3.1.1.2 測(cè)試方法
向高效空氣過(guò)濾器上游側(cè)發(fā)DOP氣溶膠(冷煙)，同時(shí)用檢漏裝置的采樣器在下游側(cè)距高效空氣過(guò)濾器出口約2.5 cm處進(jìn)行掃描巡檢。采樣量為47.2X10?5m3/s [28.3L/min]，巡檢速度錢5 cm/s。當(dāng)下游側(cè)濃度與上游側(cè)濃度的比大于0.01%時(shí)，則認(rèn)為有明顯泄漏，應(yīng)進(jìn)行堵漏。
3.1.2誘入測(cè)試
3.1.2.1 儀器
與3. 1. 1.1相同。
3.1.2.2 測(cè)試方法
在 潔 凈 工作臺(tái)箱體連結(jié)縫外側(cè)和操作口邊緣外側(cè)所毗連的周圍環(huán)境中，發(fā)DOP氣溶膠(冷煙)然后用采樣器在連結(jié)縫內(nèi)側(cè)和操作口邊緣內(nèi)側(cè)巡檢。
a. 縫隙誘入測(cè)試
水 平 層 流潔凈工作臺(tái)，應(yīng)在距操作區(qū)壁面3cm，距接縫5cm 的下游處;而垂直層流潔凈工作臺(tái)，應(yīng)在距操作口上擋板內(nèi)表面5cm，距高效空氣過(guò)濾器出口或整流格板表面10cm處進(jìn)行巡檢當(dāng)檢漏儀(光度計(jì))的讀值超過(guò)臺(tái)外讀值的0.01%時(shí)，則確認(rèn)有氣溶膠誘人(見(jiàn)圖3、圖4)。必須進(jìn)行堵漏。
b 外部誘入測(cè)試(操作口邊緣)
水平層流潔凈工作臺(tái)，應(yīng)在距開(kāi)口處邊緣往里5c m，距壁內(nèi)表面3c m處(見(jiàn)圖5);而垂直層流潔凈工作臺(tái)，應(yīng)在距前擋板下邊緣往上5cm，距前擋板內(nèi)表面3 cm處以及距臺(tái)面回風(fēng)柵板邊緣往里10 cm,距回風(fēng)柵板往上5 cm處(見(jiàn)圖6)進(jìn)行巡檢。當(dāng)檢漏儀(光度計(jì))讀值超過(guò)臺(tái)外讀值的0.01%時(shí)，則確認(rèn)有氣溶膠誘入。
該項(xiàng)外部誘入測(cè)試僅適用新產(chǎn)品檢測(cè)。
3.2 潔凈度
3.2.1儀器
塵埃粒子計(jì)數(shù)器。
3.2.2測(cè)試方法
3.2.2.1 進(jìn)行潔凈度測(cè)試時(shí)，吸風(fēng)口處的氣溶膠濃度(對(duì)于≥0. 5μm的粒子)不得小于35 000粒/L,當(dāng)吸風(fēng)口處不能滿足上述指標(biāo)時(shí)，宜在潔凈工作臺(tái)吸風(fēng)口處發(fā)多分散DOP氣溶膠。
3.2-2.2 當(dāng)吸風(fēng)口處的氣溶膠濃度達(dá)到穩(wěn)定條件下，在距主過(guò)濾器或整流格柵出口250 mm的平行斷面的中心處(垂直層流潔凈工作臺(tái)距操作臺(tái)面250 mm的中心處)連續(xù)測(cè)試5次，求其平均值。
3.2-2.3 操作區(qū)氣溶膠濃度測(cè)試盡量采用大流量(47.2X10?5m3/s [28.3L/min])塵埃粒子計(jì)數(shù)器，也可采用小流量塵埃粒子計(jì)數(shù)器，但采樣量不得小于1L。
3.2.2.4 潔凈工作臺(tái)吸風(fēng)口處的氣溶膠濃度測(cè)試，需要在測(cè)試潔凈工作臺(tái)操作區(qū)氣溶膠濃度的時(shí)間內(nèi)進(jìn)行，要測(cè)5次以上。
3.2-2.5 當(dāng)測(cè)試時(shí)有)5 pm粒子出現(xiàn)時(shí)，應(yīng)進(jìn)行多次采樣，當(dāng)其多次出現(xiàn)時(shí)，才認(rèn)為該測(cè)試數(shù)值是可靠的。
3.2.3 可比工作環(huán)境條件下的操作區(qū)氣溶膠濃度計(jì)算:
3.2.4使用條件下操作區(qū)的潔凈度
潔凈工作臺(tái)在使用條件下，不論其使用環(huán)境中的含塵濃度是多少，要按有關(guān)規(guī)定進(jìn)行測(cè)試，并按操作區(qū)氣溶膠的實(shí)測(cè)濃度來(lái)評(píng)價(jià)操作區(qū)的潔凈度。
3.3 風(fēng)速
3.3.1儀器
采用便攜式熱球電風(fēng)速計(jì)或便攜式熱敏電阻恒溫風(fēng)速計(jì)測(cè)試，所選用的儀器其誤差不大于被測(cè)量的±10%，風(fēng)速計(jì)應(yīng)按說(shuō)明書中的要求進(jìn)行標(biāo)定。
3.3.2測(cè)試方法
3.3.2.1 把在主過(guò)濾器或擴(kuò)散板下游10 cm處的平面的面積分成不得少于十二等分的面積，各面積中心點(diǎn)即為風(fēng)速測(cè)點(diǎn)(見(jiàn)圖7)。但各測(cè)點(diǎn)間距不應(yīng)大于25 cm。
3.3.2.2將各測(cè)點(diǎn)風(fēng)速值計(jì)算出截面風(fēng)速算術(shù)平均值。風(fēng)速和風(fēng)速均勻率應(yīng)達(dá)到2.3中的規(guī)定。風(fēng)速均勻率按下式計(jì)算:
3.4 終負(fù)荷條件下的風(fēng)速測(cè)試
當(dāng) 主 過(guò) 濾器阻力增加到約初阻力(即工作臺(tái)設(shè)計(jì)風(fēng)速下的阻力)二倍后，要求潔凈工作臺(tái)操作區(qū)平均風(fēng)速不得小于0. 3 m/s。該項(xiàng)測(cè)試適用于新產(chǎn)品。
3.4.1儀器及設(shè)備
3.4.1.1 風(fēng)速計(jì)按3.3.1 規(guī)定選用。
3.4. 1.2 傾斜式微壓計(jì)，精度應(yīng)不低于1級(jí)，標(biāo)定應(yīng)按JJG 172-76?傾斜式微壓計(jì)檢定規(guī)程?進(jìn)行。
3.4.1.3 阻尼擋板采用冷軋?zhí)妓劁摪?，其尺寸大小為該潔凈工作臺(tái)上安裝的高效空氣過(guò)濾器的尺寸(長(zhǎng)x寬)。將擋板均勻鉆孔，使鉆孔的擋板阻力加上高效過(guò)濾器的阻力約為高效過(guò)濾器的終阻力值(即終阻力達(dá)到初阻力的二倍值)。亦可采用其他材料做的阻尼層。
3.4.2測(cè)試方法
在 潔 凈 工作臺(tái)的高效過(guò)濾器前、后處接人微壓計(jì)。在緊貼高效過(guò)濾器的上風(fēng)側(cè)裝上鉆孔的擋板(擋板開(kāi)孔加工面的反面應(yīng)對(duì)著上風(fēng)側(cè))，安裝時(shí)應(yīng)注意嚴(yán)密。
按3. 3. 2的測(cè)試方法，測(cè)定潔凈工作臺(tái)操作區(qū)的風(fēng)速。使平均風(fēng)速應(yīng)在所規(guī)定最小風(fēng)速的±10%以內(nèi)。
3.5 噪聲
3.5.1儀器
采用聲級(jí)計(jì)。儀器標(biāo)定后應(yīng)符合有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定。
3.5.2測(cè)試方法
3.5.2.1 潔凈工作臺(tái)的噪聲測(cè)點(diǎn)應(yīng)布置在工作臺(tái)中心，距臺(tái)面前沿20 cm處，高度為110 cm(相當(dāng)操作人員坐著的耳部位置)，如圖8。其他局部?jī)艋O(shè)備的噪聲測(cè)點(diǎn)應(yīng)布置在距設(shè)備主要表面幾何中心的水平距離100 cm，高度為150 cm處。宜四面各測(cè)定一次，取四點(diǎn)算術(shù)平均值。如圖9。
15.2.2局部?jī)艋O(shè)備應(yīng)在正常運(yùn)行條件下，測(cè)定A聲級(jí)及倍頻程值倍頻程的中心頻率范圍為63-8 000 Hz。對(duì)于出廠產(chǎn)品或現(xiàn)場(chǎng)檢驗(yàn)(即維修后的設(shè)備)僅測(cè)試A聲級(jí)值，對(duì)于新產(chǎn)品還應(yīng)測(cè)試噪聲倍頻程值。
3.5.2.3 測(cè)試噪聲的環(huán)境宜在室內(nèi)比較開(kāi)闊的、較硬實(shí)反射地面上進(jìn)行測(cè)量。傳聲器附近1 m的范圍內(nèi)，不應(yīng)有其他反射物。設(shè)備操作區(qū)開(kāi)口處，若設(shè)有擋板應(yīng)全部開(kāi)啟，特別注意避免氣流產(chǎn)生的風(fēng)壓、電磁場(chǎng)、振動(dòng)等給測(cè)量帶來(lái)的影響
3.5.2.4當(dāng)實(shí)測(cè)噪聲值與背景噪聲值的差值，大于或等于10 dB(A聲級(jí))時(shí)，表示實(shí)測(cè)噪聲值有效;為6-9 dB(A聲級(jí))時(shí)，應(yīng)將實(shí)測(cè)噪聲值結(jié)果減去1 dB;為4-5 dB時(shí)，應(yīng)減2 dB;當(dāng)小于3 dB時(shí)，則測(cè)量無(wú)效。
15.2.5測(cè)定潔凈工作臺(tái)的A聲級(jí)值應(yīng)達(dá)到2.4 中的規(guī)定。
3.6 振動(dòng)
3.6.1儀器
應(yīng)是具有2～500Hz的振動(dòng)頻率，位移為0.1μm～1.5mm，加速度為0.01g～10g的振動(dòng)分析計(jì)。
儀器校準(zhǔn)應(yīng)按照說(shuō)明書的要求進(jìn)行。
3.6.2測(cè)試方法
3.6.2.1 當(dāng)潔凈工作臺(tái)在正常運(yùn)行條件下，將振動(dòng)分析計(jì)的拾振器置于操作面的幾何中心處，測(cè)出x,Y,Z三個(gè)軸向的總振幅值。
3.6.2.2 被測(cè)試的潔凈工作臺(tái)應(yīng)放置在振動(dòng)比較小的地面上進(jìn)行。在測(cè)試過(guò)程中應(yīng)避免周圍環(huán)境的影口向。
3.6.2.3 三個(gè)軸向的振幅值均應(yīng)達(dá)到2.5中的規(guī)定。
3.7 照明
3.7.1儀器
采用攜帶式照度計(jì)，應(yīng)按說(shuō)明書的要求進(jìn)行校準(zhǔn)。
3.7.2測(cè)試方法
測(cè) 點(diǎn) 布 置在潔凈工作臺(tái)橫向的中心線上，均勻布置三點(diǎn)，取算術(shù)平均值作為潔凈工作臺(tái)的照度。其照度應(yīng)達(dá)到2. 6中的規(guī)定。
3.8 絕緣阻抗
3.8.1儀器
采用500v 的兆歐表。
3.8.2測(cè)試方法
參 照 GB 998-67(低壓電器基本試驗(yàn)方法》和JB 617-65《低壓配電屏技術(shù)條件》標(biāo)準(zhǔn)。測(cè)量電器及接線部分對(duì)工作臺(tái)金屬結(jié)構(gòu)之間的絕緣電阻
3.9 耐電壓測(cè)試
參 照 JB 617-65有關(guān)規(guī)定，將工作臺(tái)的電器絕緣部分加1000v 工頻持續(xù)1min，查有無(wú)擊穿和閃絡(luò)現(xiàn)象。
4 檢驗(yàn)報(bào)告的編寫
4門各項(xiàng)檢驗(yàn)應(yīng)按下列表格進(jìn)行檢測(cè)記錄和整理。
表 1 潔 凈工作臺(tái)銘牌登記表;
表 2 潔 凈度實(shí)測(cè)記錄表;
表 3 風(fēng) 速實(shí)測(cè)記錄表;
表 4 噪 聲實(shí)測(cè)記錄表;
表 5 振 動(dòng)實(shí)測(cè)記錄表;
表 6 照 度實(shí)測(cè)記錄表。
4.2 對(duì)特殊測(cè)試項(xiàng)目，可根據(jù)具體情況按需要進(jìn)行并記錄和整理。
