半導(dǎo)體廠凈化車間潔凈棚定制要求(配高效過濾器、風(fēng)淋室)
半導(dǎo)體廠凈化車間特性決定其制造過程必須有潔凈度要求，半導(dǎo)體廠潔凈棚定制要求百級潔凈棚，百級潔凈棚是一種簡易的潔凈室，可快速提高區(qū)域潔凈度的設(shè)備。以工業(yè)鋁材（或不銹鋼方通、鐵方通烤漆）作為框架，采用滿布風(fēng)機濾網(wǎng)機組FFU送風(fēng)，四周圍用防靜電垂簾（或鋼化玻璃），內(nèi)部凈化級別可達百級，潔凈棚由于其低成本、方便快捷、靈活組裝，廣泛用于光電、電子流水線作業(yè)、實驗室、組裝區(qū)域等局部高潔凈度場合。
百級潔凈棚的潔凈度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機器隔間、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃之移動、擴散受到氣流的支配。正是因為這樣，所以百級潔凈棚的頂部必須滿布高效過濾器送風(fēng)單元，而且必須通過風(fēng)淋室進出。
百級潔凈棚利用HEPA級高效過濾器過濾空氣，其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多，因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而潔凈室內(nèi)除了人以外，尚有機器等之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵埃一旦擴散，即無法保持潔凈空間，因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。
百級潔凈棚工作原理：
要使內(nèi)部凈化級別達到百級（100級）或以上就要使室內(nèi)的潔凈氣流形成單向垂直流。就是說在潔凈棚內(nèi)的氣流在同一截面的任意一點氣流的方向和速度保持一致，這樣就可以使?jié)崈魵饬飨蠡钊粯訉⑹覂?nèi)的塵埃粒子以最快的速度帶走。要實現(xiàn)垂直流就要將高效過濾器布滿屋頂，才能實現(xiàn)單向垂直流，達到潔凈度100級或以上的級別。
而對于千級到十萬級的(1K-100K)潔凈棚：
其氣流組織方向和Class1-100潔凈棚不同，內(nèi)部的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動，伴有回流和渦流，它主要靠潔凈的氣流不斷稀釋內(nèi)部空氣，將內(nèi)部的污染逐漸排出，來實現(xiàn)潔凈效果。要實現(xiàn)潔凈棚的等級不同，主要是依靠單位時間內(nèi)所送風(fēng)量的不同來實現(xiàn)的。
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